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氯化氫 改良西門子法—閉環式三氯氫硅氫還原法

返回  打印  發布時間：2013/2/2 點擊：11150
 改良(liang)西門子法(fa)是用氯(lv)和(he)氫合成氯化氫（或外(wai)購(gou)氯化氫），氯化氫和產業(ye)硅(gui)(gui)(gui)粉在(zai)(zai)一定(ding)的溫度下合成(cheng)三(san)氯(lv)氫(qing)(qing)硅(gui)(gui)(gui)，然后(hou)對三(san)氯(lv)氫(qing)(qing)硅(gui)(gui)(gui)進(jin)行分離精(jing)餾提純，提純后(hou)的三(san)氯(lv)氫(qing)(qing)硅(gui)(gui)(gui)在(zai)(zai)氫(qing)(qing)還原爐內(nei)進(jin)行CVD反應生產高純多晶硅(gui)(gui)(gui)。

    國(guo)內外現有的多(duo)晶(jing)硅(gui)(gui)廠盡大部(bu)分采用此法生產電子級(ji)與太陽能(neng)級(ji)多(duo)晶(jing)硅(gui)(gui)。

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