鹽酸脫析法是將濃鹽酸置于脫析塔鐘加熱脫析制備氯化氫氣體，在(zai)七(qi)十年代末期發展出來的。然后，經(jing)過(guo)一(yi)系列的常溫(wen)、低溫(wen)干燥、吸附除水以及二(er)氧(yang)化碳，壓(ya)縮(suo)至1.2Mpa，進(jin)行低溫(wen)精餾，再(zai)經(jing)過(guo)低溫(wen)吸附除去氮后壓(ya)縮(suo)至4.2Mpa，然后再(zai)進(jin)行裝瓶。

     發(fa)生法是(shi)在七(qi)十年(nian)代以前，電子工業用高純度氯(lv)(lv)化(hua)氫(qing)(qing)的(de)制備一直是(shi)將濃硫酸滴(di)加到(dao)濃鹽酸中，將其中的(de)水吸收掉，使(shi)得(de)過飽和的(de)氯(lv)(lv)化(hua)氫(qing)(qing)氣(qi)體析出。到(dao)了七(qi)十年(nian)代到(dao)八十年(nian)代初期，制備方(fang)法發(fa)展到(dao)用濃硫酸與(yu)焙烘(hong)干的(de)食(shi)鹽反應(ying)，生成(cheng)高純度的(de)氯(lv)(lv)化(hua)氫(qing)(qing)氣(qi)體，再用壓縮機(ji)壓入鋼(gang)瓶中。 

     合成法用氯和氫在合成爐中進行燃燒反應生成氯化氫氣體是八十年代初為適應我國電子工業的迅速發展而提出的，在技術上較為先進，由合成爐出來的氯化氫氣體經(jing)常溫(wen)、低溫(wen)干(gan)燥和吸附凈(jing)化，在(zai)低溫(wen)、低壓下冷凝(ning)，排除不(bu)凝(ning)氣體雜質，以(yi)液態裝(zhuang)瓶(ping)。氯、氫(qing)(qing)合成中，氫(qing)(qing)過量5％左(zuo)右，氯化氫(qing)(qing)氣體中含氫(qing)(qing)高(gao)，以(yi)間(jian)歇精餾裝(zhuang)置(zhi)除氫(qing)(qing)。此外，原料氫(qing)(qing)是經(jing)鈀膜擴散提純，生(sheng)產(chan)規模受到一定(ding)限(xian)制。 

   ;  發生法(fa)以及脫(tuo)析法(fa)生產規(gui)模較大。