高(gao)純氯(lv)(lv)化氫是集成電路生(sheng)產(chan)中硅(gui)片蝕刻(ke)，鈍化和(he)外(wai)延等工(gong)藝的(de)(de)重要(yao)材料，也(ye)可(ke)用于金屬冶煉(lian)，光導通訊和(he)科學研究等領域。隨著大規模集成電路的(de)(de)發展，對氯(lv)(lv)化氫純度(du)的(de)(de)要(yao)求越(yue)來(lai)越(yue)高(gao)，對其中雜質的(de)(de)含(han)量要(yao)求越(yue)來(lai)越(yue)苛刻(ke)，尤其要(yao)求嚴格限(xian)制(zhi)碳氫化合物和(he)碳氧化合物的(de)(de)含(han)量，以防止硅(gui)片加(jia)工(gong)過程(cheng)中c的(de)(de)形成。國(guo)內外(wai)對于制(zhi)備高(gao)純氯(lv)(lv)化氫的(de)(de)方法有很多。

    20世紀(ji)70年代(dai)以(yi)(yi)前電子工(gong)業用(yong)高純氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)的制備(bei)一直是將(jiang)濃硫(liu)酸(suan)滴加到濃鹽酸(suan)中(zhong)，將(jiang)其中(zhong)的水吸收掉，使(shi)過飽和(he)的氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣(qi)體(ti)析(xi)出 。20世紀(ji)8O年代(dai)以(yi)(yi)后制備(bei)方法(fa)發展到用(yong)濃硫(liu)酸(suan)與(yu)焙烘(hong)干的氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)鉀反應，生(sheng)(sheng)成高純氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣(qi)體(ti)，用(yong)壓縮機壓入鋼瓶中(zhong)。即曼海姆法(fa)硫(liu)酸(suan)鉀聯產氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣(qi)體(ti)日。此(ci)種方法(fa)生(sheng)(sheng)產的氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)氣(qi)體(ti)純度在(zai)99．9％(質量(liang)分(fen)數)以(yi)(yi)上。

    為了測定(ding)(ding)在吸(xi)(xi)飽HCl-H2O件下的(de)耐(nai)酸性(xing)(xing)，曾使樣(yang)品吸(xi)(xi)HCl-H2O飽和后，用塑料(liao)袋(dai)密(mi)封放(fang)置多(duo)天，再(zai)(zai)生后再(zai)(zai)測其(qi)吸(xi)(xi)水性(xing)(xing)能，吸(xi)(xi)水量(liang)仍未(wei)下降。其(qi)耐(nai)酸性(xing)(xing)能良好。A型(xing)分(fen)(fen)子篩耐(nai)酸性(xing)(xing)能差，吸(xi)(xi)附性(xing)(xing)能大(da)幅度下降。JMT型(xing)干燥劑是一種含硅鋁比的(de)絲光沸石型(xing)分(fen)(fen)子篩，具有(you)良好的(de)熱穩定(ding)(ding)性(xing)(xing)，除在300℃前有(you)一脫水而引(yin)起(qi)明顯(xian)吸(xi)(xi)熱峰(feng)外，在900℃前無明顯(xian)的(de)分(fen)(fen)解峰(feng)，說明其(qi)晶格(ge)具有(you)優良的(de)穩定(ding)(ding)性(xing)(xing)。

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