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電子工業對氯化氫的新要求

返回  打印  發布時間:2013-11-5 點擊:8818

    現在電子(zi)行業也成為一個熱門的(de)(de)行業,正向著高集成化、高完整性(xing)發展。電子(zi)行業的(de)(de)制造需要氯(lv)化氫(qing)的(de)(de)參(can)與,因為電子(zi)行業的(de)(de)要求提高了,所以氯(lv)化氫(qing)的(de)(de)使(shi)用要求也提高了,我(wo)們一起來(lai)看一下(xia)電子(zi)行業對氯(lv)化氫(qing)的(de)(de)新要求。

    電子級氯(lv)化氫(qing)是指純度高于99.999%的(de)(de)高純度氯(lv)化氫(qing)氣(qi)體(ti)。除了對純度要(yao)求較高以外(wai),對氯(lv)化氫(qing)氣(qi)體(ti)的(de)(de)品質要(yao)求也非常嚴格。

    隨著微電子工業向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發展,對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應具有99.999%以上的純度,還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機雜質的含量越低越好。
    電子級氯(lv)(lv)化(hua)氫主要(yao)用(yong)于(yu)(yu)外(wai)延生(sheng)長前硅和砷化(hua)鎵高溫氣(qi)(qi)(qi)相刻蝕,清除鈉離子。另外(wai)高純氯(lv)(lv)化(hua)氫也用(yong)于(yu)(yu)金屬(shu)表(biao)(biao)面(mian)化(hua)學處(chu)理(li),激光用(yong)混(hun)合氣(qi)(qi)(qi)、膠片生(sheng)產及碳纖(xian)維表(biao)(biao)面(mian)處(chu)理(li)。過去(qu)我國大多從美、日(ri)等國進口電子級氯(lv)(lv)化(hua)氫,但近(jin)年來(lai),我國電子工(gong)業所(suo)需(xu)的化(hua)學氣(qi)(qi)(qi)體的研制,在技術上已有不少突破(po)和發展。

    從以上介紹來看我們電子所需的氣體在近幾年已經有了很大的發展,同時北京華宇同方在很大程度上填補了電子級氯化氫的空白。言赫特氣直屬于北(bei)京(jing)華宇同(tong)方,所以(yi)我(wo)們的質(zhi)量您絕(jue)度放心(xin),是您值(zhi)得(de)信賴的一家公司。

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