淄博言赫(he)特氣有限公司現有年產(chan)2000噸高純氯(lv)化(hua)氫生(sheng)(sheng)產(chan)線，連續批量生(sheng)(sheng)產(chan)應用(yong)于單晶硅外(wai)延(yan)片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯(lv)化(hua)氫。

    電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)廣泛(fan)應用(yong)于半導(dao)體(ti)、微電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)和(he)(he)關聯的(de)(de)太陽能電(dian)(dian)(dian)池等(deng)高(gao)科技(ji)(ji)產(chan)業，或用(yong)于薄膜堆積(ji)、刻蝕(shi)、摻雜、鈍(dun)化(hua)(hua)(hua)、清洗，或用(yong)作(zuo)載氣(qi)(qi)、維護氣(qi)(qi)氛等(deng)等(deng)。因為(wei)半導(dao)體(ti)和(he)(he)微電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)能向更(geng)高(gao)功能、更(geng)高(gao)集成(cheng)度(du)開展，對電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)的(de)(de)純度(du)提(ti)出了越(yue)來越(yue)高(gao)的(de)(de)需求(qiu)，電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)特氣(qi)(qi)的(de)(de)凈化(hua)(hua)(hua)更(geng)加要(yao)害(hai)和(he)(he)重(zhong)要(yao)。目前(qian)國(guo)內的(de)(de)超高(gao)純度(du)凈化(hua)(hua)(hua)技(ji)(ji)能首要(yao)依靠進(jin)口，本身的(de)(de)技(ji)(ji)能水準（6N）與國(guo)際先進(jin)水平(8-9N)有(you)較(jiao)大距離。本項目將描繪(hui)和(he)(he)研制(zhi)一系列高(gao)效(xiao)、高(gao)容量、高(gao)選擇性(xing)、低(di)成(cheng)本的(de)(de)新式納米(mi)凈化(hua)(hua)(hua)劑，對MO源、惰性(xing)氣(qi)(qi)體(ti)、氫(qing)(qing)化(hua)(hua)(hua)物(wu)氣(qi)(qi)體(ti)、反響(xiang)性(xing)氣(qi)(qi)體(ti)、腐蝕(shi)性(xing)氣(qi)(qi)體(ti)等(deng)5個系列，50多(duo)種電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特氣(qi)(qi)進(jin)行結尾凈化(hua)(hua)(hua)，使電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)純度(du)由ppm級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)進(jin)步到ppb、ppt級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)，并(bing)將特氣(qi)(qi)傳輸和(he)(he)控制(zhi)系統對氣(qi)(qi)體(ti)純度(du)的(de)(de)影響(xiang)降(jiang)至最小，然后極大地改(gai)進(jin)工(gong)藝才能，下降(jiang)產(chan)物(wu)缺(que)點(dian)， 進(jin)步制(zhi)程的(de)(de)產(chan)值，滿意(yi)下一代半導(dao)體(ti)、微電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)以及(ji)關聯高(gao)技(ji)(ji)能開展的(de)(de)需求(qiu)。本項目將構成(cheng)有(you)自主知識產(chan)權的(de)(de)超高(gao)純度(du)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)凈化(hua)(hua)(hua)技(ji)(ji)能，處理超高(gao)純度(du)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)(ji)(ji)(ji)氯(lv)(lv)化(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)凈化(hua)(hua)(hua)這一核心技(ji)(ji)能的(de)(de)國(guo)產(chan)化(hua)(hua)(hua)問題(ti)。

    我公司所主營的鋼瓶裝電子級氯化氫產(chan)品分別經國家標準物(wu)質研(yan)究中心(xin)和信息產(chan)業部專用(yong)材(cai)料質量監(jian)督檢驗(yan)中心(xin)抽樣檢驗(yan)，純度大(da)于(yu)99.999%，總雜質含量小于(yu)5ppm，符合國家標準GB/T24469-2009。