發展循環經濟(ji)的(de)今天，對于氯化(hua)氫(qing)等眾(zhong)多化(hua)工副產物的(de)回(hui)收再利用是非(fei)常重(zhong)的(de)一環。那(nei)么在三氯氫(qing)硅的(de)生(sheng)產中，氯化(hua)氫(qing)的(de)回(hui)收循環也(ye)是重(zhong)點。

    未被冷凝下來的氯化氫、氫氣、氯氣返回氯化氫合成系統，氫氣與氯氣按一定比例混合，燃燒生成氯化氫，循環使用。
    采(cai)用(yong)綜合回收(shou)方(fang)法使合成工序開路(lu)工藝流程(cheng)變為閉路(lu)循環，提高原(yuan)材料(liao)利用(yong)率，降(jiang)(jiang)低(di)(di)了(le)原(yuan)材料(liao)單耗(hao)，實現了(le)無廢氣排出，徹底解決(jue)了(le)環境污染(ran)問題。但是，尾氣中含有的微量氯硅烷容(rong)易與氯化氫中的水(shui)反應(ying)生成固(gu)體二(er)氧化硅堵(du)塞管道，降(jiang)(jiang)低(di)(di)三(san)氯氫硅的收(shou)率。

    此方法(fa)因(yin)其原(yuan)材料氯化氫的強吸(xi)水性，在運行過程中可能會遇到其他(ta)的問題，所以，不是最好的處理(li)方式。