我們來看一(yi)下(xia)電子級氯化(hua)氫的凈化(hua)是關鍵(jian)的。

  在(zai)續批量生產(chan)應用于單晶硅(gui)外延片制造的5N(99.999%)電子(zi)級(ji)(VLSI)氯化(hua)氫(qing)，以及(ji)應用于醫(yi)藥(yao)中間體、農藥(yao)及(ji)精細化(hua)學(xue)品(pin)制造的2.8N(99.8%)化(hua)學(xue)級(ji)氯化(hua)氫(qing)。產(chan)品(pin)性能先(xian)進，質量穩定，處于國內領(ling)先(xian)地位，達到(dao)國際(ji)先(xian)進水平。鋼(gang)瓶裝電子(zi)級(ji)氯化(hua)氫(qing)產(chan)品(pin)分別(bie)經(jing)國家(jia)標準物質研(yan)究中心和信(xin)息(xi)產(chan)業部專用材(cai)料質量監督檢(jian)驗中心抽樣檢(jian)驗，純度(du)大于99.999%，總雜質含量小于5ppm，符合(he)國家(jia)標準GB/T24469-2009。

在氯化氫廣泛應用(yong)于(yu)半導體是(shi)、微電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)和(he)相(xiang)(xiang)關的(de)(de)(de)(de)太陽能(neng)電(dian)(dian)(dian)池等高(gao)(gao)科技(ji)(ji)產業，或用于薄膜沉(chen)積、刻蝕、摻(chan)雜(za)、鈍化(hua)(hua)、清(qing)洗，或用作載氣(qi)(qi)(qi)、保護氣(qi)(qi)(qi)氛(fen)等等。由于半(ban)導體(ti)和(he)微電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)向更高(gao)(gao)性能(neng)、更高(gao)(gao)集(ji)成(cheng)度(du)(du)發(fa)(fa)展(zhan)，對電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)氯化(hua)(hua)氫的(de)(de)(de)(de)純(chun)度(du)(du)提(ti)出了越來越高(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)要(yao)求，電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)級(ji)(ji)氯化(hua)(hua)氫的(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)凈(jing)化(hua)(hua)愈(yu)加關鍵和(he)重要(yao)。目(mu)(mu)前國內的(de)(de)(de)(de)超(chao)高(gao)(gao)純(chun)度(du)(du)凈(jing)化(hua)(hua)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)主(zhu)要(yao)依賴進(jin)(jin)口，自身的(de)(de)(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)水(shui)準(zhun)（6N）與國際先進(jin)(jin)水(shui)平(8-9N)有(you)較大(da)差距。本項目(mu)(mu)將設計和(he)研發(fa)(fa)一(yi)系(xi)列(lie)高(gao)(gao)效、高(gao)(gao)容(rong)量、高(gao)(gao)選擇性、低(di)成(cheng)本的(de)(de)(de)(de)新型納米凈(jing)化(hua)(hua)劑(ji)，對MO源、惰性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)、氫化(hua)(hua)物氣(qi)(qi)(qi)體(ti)、反應性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)、腐蝕性氣(qi)(qi)(qi)體(ti)等5個系(xi)列(lie)，50多種(zhong)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特氣(qi)(qi)(qi)進(jin)(jin)行末(mo)端凈(jing)化(hua)(hua)，使電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特氣(qi)(qi)(qi)純(chun)度(du)(du)由ppm級(ji)(ji)提(ti)高(gao)(gao)到ppb、ppt級(ji)(ji)，并將氯化(hua)(hua)氫傳輸和(he)控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)對氣(qi)(qi)(qi)體(ti)純(chun)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)影響降至最小，從而極大(da)地改善工(gong)藝(yi)能(neng)力，降低(di)產品缺陷， 提(ti)高(gao)(gao)制(zhi)程的(de)(de)(de)(de)產量，滿足下一(yi)代半(ban)導體(ti)、微電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)以及相(xiang)(xiang)關高(gao)(gao)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)發(fa)(fa)展(zhan)的(de)(de)(de)(de)需要(yao)。本項目(mu)(mu)將形成(cheng)有(you)自主(zhu)知識(shi)產權的(de)(de)(de)(de)超(chao)高(gao)(gao)純(chun)度(du)(du)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特氣(qi)(qi)(qi)凈(jing)化(hua)(hua)技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)，解(jie)決超(chao)高(gao)(gao)純(chun)度(du)(du)電(dian)(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)特氣(qi)(qi)(qi)凈(jing)化(hua)(hua)這一(yi)核心技(ji)(ji)術(shu)(shu)(shu)的(de)(de)(de)(de)國產化(hua)(hua)問題(ti)。

    看完了希望能給大家帶來幫(bang)助！