我們來看一下電子級(ji)氯(lv)化氫的凈化是(shi)關鍵(jian)的。

  在續批(pi)量生產應用(yong)于單晶硅(gui)外延片(pian)制造的5N(99.999%)電子級(ji)(VLSI)氯(lv)化(hua)氫，以(yi)及應用(yong)于醫藥(yao)中間(jian)體、農藥(yao)及精細化(hua)學品制造的2.8N(99.8%)化(hua)學級(ji)氯(lv)化(hua)氫。產品性能先進，質量穩定，處于國內領先地位，達到國際先進水(shui)平。鋼瓶裝(zhuang)電子級(ji)氯(lv)化(hua)氫產品分(fen)別經國家(jia)標(biao)(biao)準物(wu)質研究中心和(he)信息(xi)產業部(bu)專用(yong)材(cai)料(liao)質量監督檢驗中心抽(chou)樣檢驗，純度大于99.999%，總雜(za)質含量小于5ppm，符(fu)合國家(jia)標(biao)(biao)準GB/T24469-2009。

在(zai)氯化(hua)氫(qing)廣泛應用于半導體是、微電(dian)子(zi)和(he)(he)相關(guan)(guan)的(de)(de)太陽能(neng)電(dian)池等高(gao)(gao)科技(ji)(ji)產(chan)(chan)(chan)(chan)業，或用于(yu)薄膜沉積、刻蝕(shi)、摻雜(za)、鈍(dun)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)、清洗，或用作載氣(qi)(qi)(qi)、保護氣(qi)(qi)(qi)氛等等。由于(yu)半導體(ti)(ti)(ti)和(he)(he)微電(dian)子(zi)技(ji)(ji)術(shu)向更高(gao)(gao)性(xing)能(neng)、更高(gao)(gao)集成(cheng)度(du)(du)發(fa)(fa)展(zhan)，對電(dian)子(zi)級(ji)氯化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)的(de)(de)純度(du)(du)提(ti)出了越(yue)來越(yue)高(gao)(gao)的(de)(de)要求，電(dian)子(zi)級(ji)氯化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)的(de)(de)的(de)(de)凈(jing)(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)愈(yu)加關(guan)(guan)鍵和(he)(he)重(zhong)要。目(mu)前國(guo)內的(de)(de)超高(gao)(gao)純度(du)(du)凈(jing)(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)技(ji)(ji)術(shu)主要依賴進口，自身的(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)水(shui)準(zhun)（6N）與國(guo)際先進水(shui)平(8-9N)有(you)較大差距(ju)。本項目(mu)將設(she)計和(he)(he)研發(fa)(fa)一系列高(gao)(gao)效、高(gao)(gao)容量、高(gao)(gao)選擇性(xing)、低(di)成(cheng)本的(de)(de)新型納米凈(jing)(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)劑(ji)，對MO源、惰性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、氫(qing)(qing)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)物氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、反應性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)、腐(fu)蝕(shi)性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)等5個(ge)系列，50多種電(dian)子(zi)特(te)氣(qi)(qi)(qi)進行(xing)末(mo)端(duan)凈(jing)(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)，使電(dian)子(zi)特(te)氣(qi)(qi)(qi)純度(du)(du)由ppm級(ji)提(ti)高(gao)(gao)到ppb、ppt級(ji)，并將氯化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)傳輸和(he)(he)控制(zhi)系統(tong)對氣(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)純度(du)(du)的(de)(de)影響降至(zhi)最(zui)小，從(cong)而(er)極大地改善工(gong)藝能(neng)力，降低(di)產(chan)(chan)(chan)(chan)品(pin)缺陷， 提(ti)高(gao)(gao)制(zhi)程(cheng)的(de)(de)產(chan)(chan)(chan)(chan)量，滿足下一代(dai)半導體(ti)(ti)(ti)、微電(dian)子(zi)以(yi)及(ji)相關(guan)(guan)高(gao)(gao)技(ji)(ji)術(shu)發(fa)(fa)展(zhan)的(de)(de)需要。本項目(mu)將形成(cheng)有(you)自主知識產(chan)(chan)(chan)(chan)權的(de)(de)超高(gao)(gao)純度(du)(du)電(dian)子(zi)特(te)氣(qi)(qi)(qi)凈(jing)(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)技(ji)(ji)術(shu)，解決超高(gao)(gao)純度(du)(du)電(dian)子(zi)特(te)氣(qi)(qi)(qi)凈(jing)(jing)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)這一核心技(ji)(ji)術(shu)的(de)(de)國(guo)產(chan)(chan)(chan)(chan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)問(wen)題。

    看完了(le)希望(wang)能給大家帶(dai)來幫助！