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石油化工副產物氯化氫提純法

返回  打印  發布時間:2013-6-17 點擊:8596

    淄博(bo)言赫特氣有(you)限公司的(de)電子(zi)級(VLSI)氯化氫產(chan)品生產(chan)裝(zhuang)置于(yu)2003年投產(chan),經北(bei)京市(shi)科委鑒(jian)定,主要(yao)用于(yu)半導(dao)體器件生產(chan)中(zhong)單(dan)晶硅片的(de)氣相(xiang)拋光、外延(yan)基(ji)座腐蝕及(ji)硬質(zhi)合金(jin)制造(zao)。

    電子及氯化氫在我們生活的各個領域中具有廣泛的應用前景,它不僅是電子工業中制造大規模集成電路所需的重要材料之一,而且應用于醫藥、化工、半導體行業,因此需求量越來越大。 
    目前已有(you)研究人在研究制備(bei)過程中(zhong)(zhong)成(cheng)(cheng)功(gong)合(he)(he)成(cheng)(cheng)了電(dian)(dian)子級氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing),同時從這些合(he)(he)成(cheng)(cheng)方法(fa)中(zhong)(zhong)發現解析(xi)法(fa)和(he)鹽酸脫析(xi)法(fa)制備(bei)氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing)工(gong)(gong)藝簡單可大規模生產(chan),但是(shi)制備(bei)的(de)(de)氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing)純度偏(pian)(pian)低,越來越不(bu)滿足電(dian)(dian)子工(gong)(gong)業,尤(you)其(qi)是(shi)集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路的(de)(de)要(yao)求。合(he)(he)成(cheng)(cheng)法(fa)生產(chan)氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing)的(de)(de)純度偏(pian)(pian)高(gao),但其(qi)中(zhong)(zhong)水量(liang)高(gao),腐蝕嚴重,對設(she)備(bei)要(yao)求高(gao),生產(chan)成(cheng)(cheng)本高(gao)。考慮到環保(bao)以及(ji)工(gong)(gong)業副(fu)(fu)產(chan)品(pin)回收利用等多(duo)方面因(yin)素,制備(bei)高(gao)純度氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing)的(de)(de)合(he)(he)成(cheng)(cheng)是(shi)必(bi)然的(de)(de)發展趨勢(shi),正(zheng)如石(shi)油化(hua)(hua)(hua)(hua)工(gong)(gong)副(fu)(fu)產(chan)物氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing)提(ti)純法(fa)。此(ci)提(ti)純法(fa)無需外加反應(ying)介(jie)質,因(yin)而避免了其(qi)它(ta)雜(za)質介(jie)質的(de)(de)引入,而且操作(zuo)簡單,生產(chan)成(cheng)(cheng)本低,但是(shi)在我(wo)國(guo)技術還不(bu)太成(cheng)(cheng)熟。我(wo)國(guo)的(de)(de)電(dian)(dian)子級氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing)產(chan)品(pin)大多(duo)從美(mei),日等國(guo)進口,價(jia)格昂貴。因(yin)此(ci)我(wo)們需要(yao)進一步研究與完善電(dian)(dian)子級氯(lv)化(hua)(hua)(hua)(hua)氫(qing)(qing)(qing)的(de)(de)合(he)(he)成(cheng)(cheng)工(gong)(gong)藝,給我(wo)國(guo)帶來一定可觀的(de)(de)社會(hui)效應(ying)和(he)經濟效益。

    我公司5.0N電子級(VLSI)氯化氫產品經(jing)國內外多(duo)家(jia)半導體(ti)重點企業連(lian)續大量在單晶硅片(pian)氣相拋(pao)光和(he)外延基(ji)座腐蝕工藝中廣泛(fan)使用,制得的器件產品質(zhi)量與國際知名品牌(pai)相當(dang)。

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