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多晶硅生產中氯化氫等有害物質的危險特性
很多(duo)(duo)工業生(sheng)產(chan)中(zhong)都會(hui)副產(chan)氯化(hua)氫(qing)。在(zai)多(duo)(duo)晶硅的生(sheng)產(chan)過程(cheng)中(zhong)不(bu)僅會(hui)產(chan)生(sheng)氯化(hua)氫(qing),還會(hui)產(chan)生(sheng)其他(ta)多(duo)(duo)種有害(hai)氣(qi)體。
多晶硅生產過程中會產生氯氣、氫氣、三氯氫硅、氯化氫等有害物質,主要危險特性有:
1)氫氣:與空氣混合能形成爆炸性混合物,遇熱或明火即會發生爆炸。氣體比空氣輕,在室內使用和儲存時,漏氣上升滯留屋頂不易排出,遇火星會引起爆炸。氫氣與氟、氯、溴等鹵素會劇烈反應。(氯化氫)
2)氧氣:助燃物、可燃物燃燒爆炸的基本要素之一,能氧化大多數活性物質。與易燃物(如乙炔、甲烷等)形成有爆炸性的混合物。
3)氯:有刺激性氣味,能與許多化學品發生爆炸或生成爆炸性物質。幾乎對金屬和非金屬都起腐蝕作用。屬高毒類。是一種強烈的刺激性氣體。
4) 氯化氫:無水氯化氫無腐蝕性,但遇水時有強腐蝕性。能與一些活性金屬粉末發生反應,放出氫氣。遇氰化物能產生劇毒的氰化氯化氫。
5)三氯氫硅:遇明火強烈燃燒。受高熱分解產生有毒的氯化物氣體。與氧化劑發生反應,有燃燒危險。極易揮發,在空氣中發煙,遇水或水蒸氣能產生熱和有毒的腐蝕性煙霧。燃燒(分解)產物:氯化氫、氧化硅。
6)四氯化硅:受熱或遇水分解放熱,放出有毒的腐蝕性煙氣。
7)氫氟酸:腐蝕性極強。遇H發泡劑立即燃燒。能與普通金屬發生反應,放出氫氣而與空氣形成爆炸性混合物。
8)硝酸:具有強氧化性。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發生劇烈反應,甚至引起燃燒。與堿金屬能發生劇烈反應。具有強腐蝕性。
9)氮氣:若遇高熱,容器內壓增大。有開裂和爆炸的危險。
10)氟化氫(qing):腐(fu)蝕性(xing)極(ji)強(qiang)。若遇高熱,容器內(nei)壓增大(da),有開(kai)裂和爆炸的(de)危險。
副產物氯化氫等有害物質(zhi)在工業生產(chan)中的(de)危(wei)害需(xu)引(yin)起相關(guan)部門的(de)注意,這(zhe)是保證安全生產(chan)的(de)重要前提。